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高速自動光學檢測系統
產業類別:健康&精密儀器精品
產品型號:PATREG-1000
和椿科技股份有限公司
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隨著圖形化藍寶石基板的需求量逐年提升,磊晶製造廠對PSS品質的要求也逐步提高;因此不論是PSS供應方還是使用方均顯露出採用全自動化光學檢測方案的強烈趨勢。

在PSS專用AOI出現前,PSS僅能採取人工檢測,由於圖案細微,且品檢規範中對於圖型或汙染界定的尺寸已超過人眼裸視極限,故若需全面檢測就需要大量的檢驗人數,若欲降低人工成本比例就只能抽樣檢驗、導致不良品混入良品中出貨,對製造方或使用方都產生極大的困擾。

有鑑於此,和椿科技於2011年起展開PSS檢驗方案開發,並透過與業界共同合作的方式,於今年年初發表第二代AOI:PATREG-1000量產型高速光學檢測系統。

PATREG-1000在操作原則上採行線性光學掃描方式,先偵測出基板表面的缺陷、汙染或破損,再將讀取的光學訊號透過特殊的影像處理技術,呈現出基板表面缺陷型態,最後依檢驗規範作良窳分類。整段檢驗程序從晶圓載入、表面輪廓掃描、晶圓分類載出,採取全自動化操作,可避免人為檢驗誤差與汙染,也減免了人力運用。

PATREG-1000可運用於PSS製程如基板進料檢、圖形化後檢測、蝕刻後檢測以及出貨檢驗,檢測功能並向下游延伸至磊晶缺陷檢出,提供LED前端製造業者一套全面性的整合型檢測方案。檢測速度極限超過每小時250片2吋PSS,解析度達1.5μm x 1.5μm,PATREG-1000可有效且快速的協助客戶達成精準控制生產品質、減少製程風險,顯著降低製造成本。

PATREG-1000與同業目前功能近似之的AOI設備比較,具有更高的檢驗精度與檢測速率,機台全自動化更能有效協助客戶大幅降低製造人力與風險,提供一致的檢驗平台,性價比優於同業水平。和椿期盼能夠以PATREG-1000,為台灣的LED產業提供一套更精準、更全面、更具成本效益的LED品質控制方案。

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關於 和椿科技股份有限公司

和椿科技成立於1980年,秉持「誠信實在、精益求精」的經營理念,從代理高品質機械傳動、驅動零組件到開發自動化設備與建立自有品牌,和椿不斷提升自我能量並透過整合產業資源來滿足客戶需求。在品牌發展歷程中,我們以「提供一貫及完整的自動化解決方案」為使命,利用自動化和機器人技術去豐富,滿足客戶多樣的需求,期以成為産業製程系統設備的領導者。未來,和椿亦將繼續以整合製程技術與運用,實現「用顛覆性思維且前瞻的策略、成就更美更好的創新與生活」的企業願景。

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80年代和椿以代理日本高品質機械傳動、驅動零組件起步,開始深耕自動化產業,1988年更與日系供應商於桃園成立生產基地。日本原廠的肯定與多年合作默契,創造和椿在自動化領域不可取代的優勢。
多年累積的開發設計能力,使和椿順利由零組件代理銷售、模組設計開發生產進階成為設備製造商,在自動化領域建立無法撼動的地位。我們選擇小廠做不來,大廠不願做的利基市場切入,滿足客戶多元化需求,並兼顧原有顧客利益。「誠信實在 精益求精」是和椿一貫理念,由點到線到面到面面俱到,和椿提供全方位自動化解決方案。成功開發的奈米級圖形化整廠技術是我們在整廠輸出的第一步,未來將複製此成功經驗,廣泛運用於其他產業。
為凝聚和椿內部共識,對外宣示和椿理念,1997年和椿創立了「Aurotek」品牌,簡單的七個英文字督促和椿人要有前瞻策略與全球觀,同時要具備及時回應顧客需求能力和重視團隊與個人、專精技術、尊重專業的工作態度。
多年來和椿始終秉持「提供一貫及完整的自動化解決方案」的使命,以建立終端使用者最大價值,成為産業製程系統設備的領導者,在品牌精神引導下,逐步實現「用顛覆性思維且前瞻的策略、成就更美更好的創新與生活」的願景。

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