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temic新推出的微检测系统-MARS (Micro Inspection System - MARS,简称MIS MARS),是MIS系列中的客制化大对象检测设备,专为高价值且不容许破坏的较大零组件(Parts),所开发之自动化缺陷检测与异常成份分析解决方案。依据客户需求提供腔体与载台的专业客制,创新设计减除样品导电性的限制,并可搭载高精密定位载台与多重感测自动分析系统,以专利技术实现对象表面360度连续检测,也是唯一提供客制分析软件的智能电子束检测设备。
MIS MARS的特点包含可客制腔体载台(扩大样品容许尺寸与特殊形貌角度检查)、精准坐标定位、高度自动化流程、与先进缺陷分析演算引擎,且可订制通讯协议串连用户云端SPC或COA系统,是协助客户改善产品与制程的高效率检测系统。
MIS MARS已被台湾指标半导体大厂连续采用,渐成为10奈米以下先进半导体制程零组件缺陷品管与控制的重要解决方案,补足半导体厂原物料监测的最后一个环节。temic将以MIS MARS作为扩大国际市场,进攻半导体以及航天等高端产业的重要产品。
关于 台灣電鏡儀器股份有限公司
台湾电镜仪器(TEMIC),是台湾第一家以桌上型电子显微镜为产品主体的研发制造公司,产品完全在台湾制造。2017年起进驻新竹科学园区,为产学研各界提供多功能易使用的客制型电子显微镜产品以及创新的液体样品纳米检测方案。 以提供市场简单易用体积小巧的电子束检测仪器为核心,向上发展高阶多样化功能给予科研单位,向下降低学习门槛给予制造产业作为取代高阶光学显微镜的升级性产品。2018年起转型工业市场,提供产业所需的零组件微检测设备,以及锂电池产业发展所需的液态/水氧敏感材料的分析工具。
台湾电镜仪器股份有限公司(Taiwan Electron Microscope Instrument Corporation, TEMIC)成立于2013年,是台湾第一家电子显微镜研发制造商。由工研院(ITRI/ITIC)支持育成,网罗各领域的研究人员与工程人才所组成,涵盖电子光学、真空机构、电子仪控、软件界面与应用领域等范畴,充满专业热忱与信念。
2017年获得以汉民科技(Hermes-Epitek)为首的半导体产业先驱注资,2018年正式进驻新竹科园学区,建置研发试产与展示服务中心,启动新一波公司再造,台湾电镜仪器正式转型面向工业客户,专注于解决产业所需的检测问题。
由具备丰富产业经验的工程师与科学研发人才,构建成一个多元而充满潜力的活跃团队。具备科学基础研究的背景,前瞻仪器开发的基础,技术商品化的产业经验,以及市场应用拓展的专业。现隶属半导体设备代理大厂——汉民科技(Hermes-Epitek)旗下,经营团队由参与台湾半导体产业创建的资深舵手与擅长运营管理的专业经理人组成,是拥有产业研发/制造/管理/投资经验的佼佼者,阵容更为坚强。
台湾电镜仪器是台湾业界唯一兼具专业客制开发与展示应用服务团队的电子显微镜供应商,并结合母集团资源构建了最高规格的服务网络。
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