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自動レジスト塗布装置
業界別：生産力・エネルギー
製品番号：ATOM 6500C
聚昌科技股份有限公司（AST）
聚昌科技（AST）の自動レジスト塗布装置ATOM 6500Cは、4/6インチの標準ウェーハのレジスト塗布プロセスに適しています。本製品は主にカセット、アライメント、移送、塗布、熱処理、化学薬品供給、排液系統、及び制御モジュールで構成され、グラフィカルな操作インターフェースを使用して自動的にレジストの均一塗布プロセスを実行します。
本製品は、カスタマイズされたCIMシステムを介してリモート自動生産管理を行うこともできます。従来モデルと比較して、本製品には多くのユニークなデザインとイノベーションが取り入れられており、お客様により多くの生産価値を提供します。製品の主な機能は次のとおりです。
1. 「レジスト節減・均一塗布技術」を備え、一度のレジスト使用量を最小0.65ccに抑えることができます。従来の塗布技術と比べ、レジスト溶液を50％節減できます。
2. すべて自社製のウェーハ搬送ロボットアームは、従来の市販のロボットアームよりも速く、安価、保守も簡単な上、お客様のニーズに応じたパフォーマンスの最適化も便利に行うことができます。
3.標準生産モードで、競合品よりも約30％高い生産能力を備えています。
4.搬送アームは独特な第3のフォークを装備し、ウェーハを均一塗布モジュールに搬送する作業で使用します。
5.従来の製品よりもカセットを1つ多く備えており、オペレーターの効率を改善するとともに、生産の中断のリスクを低減することができます。
6.自社開発のソフトウェアにより、ニーズに合わせた迅速なカスタマイズが可能です。
聚昌科技股份有限公司（AST） について
2002年創業の聚昌科技（AST）は、「高精密電子ビーム蒸着設備、高密度プラズマ反応式イオンエッチング設備、スピンコーター・現像設備」をコアテクノロジーとし、現在はLED関連及びパワー半導体コンポーネント分野での顧客の開拓と、半導体フロントエンド設備の開発に取り組んでいます。聚昌科技は自社ブランドの構築を戦略に掲げ、国内外の真空半導体設備、自動化、プロセス応用等の分野の精鋭からなるチームを組織すると同時に、工業技術研究院（ITRI）、交通大学、清華大学とアライアンスを結び、研究開発の幅と奥行きを強化しています。「漢民科技（Hermes Epitek）」との提携は10年以上に及び、サービス拠点は台湾、シンガポール、マレーシア、中国へと広がっています。新たな設備や応用の開発を積極的に進めるとともに、サービスの強化に絶えず取り組み、お客様に一流の設備とサービスをお届けし、産業の持つ価値を総合的に高めていきます。
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