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8インチウェハカセット移載機
業界別:生産力・エネルギー
製品番号:CR-ITS: Type01 / Type02 / Type03 / Type04 / Type05
啓賦科技股份有限公司(CHiFF)
award 3

8インチウェハ自動化システムを導入したお客様のご要望を受け、天井走行式無人搬送車(OHT)を組み合わせることのできない機器・設備の前方にInterface Transfer Station (ITS)を増設しました。
本体両側面の底部には素早く解体可能な位置決め用の脚部を備え、移動・撤去を素早く便利に行えると同時に、位置決め機能により元の位置へ迅速に復帰が可能です。各収納位置には、現場の作業員がそのステータスを容易に判別できるよう、8組の表示灯が設けられています。信号ケーブルにはクイックコネクタが付いており、機械の解体時にはケーブルも同時に素早く取り外すことができます。
さまざまな寸法のフレームモジュールとアーム(スカラロボット)を採用しており、お客様のニーズに合わせてポート数やアーム(スカラロボット)ストローク長、積載量などを調整し、生産設備・環境条件に合わせたモジュールを適用することができます。またスカラロボットは厚さわずか200mmと業界最軽量のアームとなっており、EN ISO 10218-1規格も取得しています。
半導体業界の高い変動性、緊急性、低コスト指向等さまざまなニーズに対応して、お客様に最適な製品へとカスタマイズを行い、多様なモジュールパッケージ、柔軟な価格設定、物流・搬送のトータルソリューションをご提供します。当社は台湾国内の科学園区(サイエンスパーク)等の半導体ウェハメーカーと長期にわたり提携関係を構築している優良設備メーカーであり、台湾半導体産業協会(TSIA)、台湾区電機電子工業同業公会(TEEMA:台湾の電機・電子産業の同業者組合)、国際半導体製造装置材料協会(SEMI)への積極的な参加を通じ、新たな市場の開拓と露出度の向上を図っています。

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啓賦科技股份有限公司(CHiFF) について

啓賦科技(CHiFF)は、半導体ウェハの生産性向上のためのソリューションの提供に注力しています。 ・半導体製造の専門知識を、精密機械設計と自動制御で補完し、カスタマイズされた機構/機械/ロボット製品を提供することが可能です。半導体製造における物流・輸送効率を高め、工場の自動化と人員の生産力の向上を図ります。 ・物流・輸送を自動化することで、人員を削減するとともに振動の影響を軽減し、ウェハの歩留まりを向上させています。 ・啓賦科技は総合的な物流輸送ソリューションを提供します。”More than HW” & ”Operation C146

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