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当社新発売のマイクロ検出システム-MARS (Micro Inspection System - MARS,略称MIS MARS)は、MISシリーズのカスタマイズされた大型構造物用の検査装置で、高価値で壊すことのできない比較的大型のコンポーネント(パーツ)専用に開発された、欠陥自動検出・異常成分の分析ソリューションです。顧客のニーズに応じてチャンバとキャリアを専門的にカスタマイズし、革新的な設計により、試料の導電性による制限をなくし、また高精度のキャリアの位置決めとマルチセンシング自動分析システムを搭載できます。特許技術により、物体表面の360度連続検査を実現します。カスタマイズされた分析ソフトウェアを提供できる唯一のインテリジェントな電子ビーム検査装置です。
MIS MARSの特長として、カスタマイズ可能なチャンバとキャリア(試料の寸法公差の拡大と特殊な形状角度の検査)、正確な座標位置決め、高度に自動化されたプロセス、高度な欠陥分析と計算エンジンがあり、またカスタマイズ可能な通信プロトコルがユーザーのクラウドのSPCやCOAシステムを結び付け、顧客の製品と製造工程の改善を支援する高効率の検査システムとなっています。
MIS MARSは、台湾の大手半導体メーカーから継続的に採用されており、10nm以下の高度な半導体製造プロセスにおけるコンポーネントの欠陥品質管理と制御のための重要なソリューションとされつつあり、本製品は半導体工場の原材料監視を完全なものにする最後のステップです。当社は国際市場の拡大に際し、MIS MARSを重要製品として、半導体や航空宇宙などのハイエンド産業を攻めていきます。
台湾電鏡儀器股份有限公司(TEMIC) について
台湾電子顕微鏡儀器(TEMIC)は、台湾で初めて卓上型電子顕微鏡を主力製品とする研究開発・製造会社であり、製品はすべて台湾で製造されています。2017年から新竹サイエンスパークに拠点を置き、産学研各界に多機能で使いやすいカスタマイズ型電子顕微鏡製品や革新的な液体試料のナノ検査ソリューションを提供しています。 シンプルで使いやすくコンパクトな電子ビーム検査装置の提供を中心に、高度で多様な機能を研究機関に提供することで上流市場を開拓し、製造業における学習のハードルを下げ、高性能光学顕微鏡に代わるアップグレード製品を提供しています。2018年からは産業市場への転換を図り、産業が必要とする部品の微細検査装置や、リチウム電池産業の発展に不可欠な液体/水酸素敏感材料の分析ツールを提供しています。
台湾電子顕微鏡儀器株式会社(Taiwan Electron Microscope Instrument Corporation, TEMIC)は2013年に設立され、台湾初の電子顕微鏡の研究開発および製造会社です。工業技術研究院(ITRI/ITIC)の支援を受け、電子光学、真空機構、電子制御、ソフトウェアインターフェース、応用分野など、多岐にわたる分野の研究者や技術者が集結し、専門知識と熱意を持って活動しています。
2017年には半導体業界の先駆者である漢民科技(Hermes-Epitek)の出資を受け、2018年に新竹サイエンスパークに正式に進出。研究開発、生産、および展示サービスセンターを設立し、会社の再構築を開始しました。これにより、TEMICは産業向けの顧客に焦点を当て、産業が抱える検査の課題を解決することに専念するように転換しました。
産業経験豊富なエンジニアと科学研究者からなる多様で将来性のある活発なチームを構築しています。科学的基礎研究の背景、先進的な機器開発の基盤、技術の商業化における産業経験、そして市場応用の拡大における専門知識を持っています。現在は、半導体設備代理大手である漢民科技(Hermes-Epitek)の傘下にあり、経営チームは台湾半導体産業の創設に携わったベテランと、運営管理に長けた専門的なマネージャーで構成されています。このため、産業の研究開発、製造、管理、投資において豊富な経験を有しており、強力な陣容を誇っています。
台湾電子顕微鏡儀器は、台湾で唯一、専門的なカスタム開発と展示応用サービスを提供する電子顕微鏡のサプライヤーであり、親会社のリソースを活用して最高のサービスネットワークを構築しています。
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