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300mmプロセス用カセット
業界別：生産力・エネルギー
製品番号：CKF300ST
中勤実業股份有限公司（Chung King）
半導体産業において競争力の鍵となるのは、製品の歩留まり率です。市販のウエハカセットはいずれもオープンタイプで、汚染による歩留まり率の低下を招きます。半導体のバックエンドプロセスでは、今なお多くの作業を人力に依存していますが、金属製ウエハカセットにウエハや金属製フレームを入れると、平均総重量は約11kgにのぼり、作業員が片手で1つずつ運ぶと両手で22kgとなり、人間の負荷の限界を超えています。また、手動での搬送は、衝突のリスク、搭載時の過度な共振、水平保持が困難、搬送中に不注意からウエハや人に危害を与えやすい等の問題点があります。中勤（CHUNG KING）が開発した「Front Opening Light Cassette Pod」は、汎用型自動搬送ウエハカセットと革新的デザインのトップフランジ・ボトムプレート構造を組み合わせた業界初の製品で、自動搬送システムAMHSや無人搬送車AGVをサポートします。革新的な密閉式設計でパーティクルの発生を減らすほか、機械式開閉装置を採用し、人為的ミスで固定が不十分な場合でも、ウエハが脱落して破損する心配はありません。搬送中の揺れを軽減し、さらに高速でエアを供給して内部部品を静電気から守ります。軽量化高級樹脂複合材料を使用しており、金属部品を大幅に削減し、一般の金属製カセットのわずか半分の重量を誇ります。金属材料のアルマイト処理で発生する大気汚染、電力消費、油汚染、金属くずや、長期的な処理による硫酸、アルカリ廃液等の汚染問題を軽減します。
中勤実業股份有限公司（Chung King） について
中勤（Chung King）はオプトエレクトロニクス・半導体分野に取り組む、ウエーハ、フォトマスク、自動ガラスストレージ・輸送の専門メーカーです。クリーンルーム環境の工程において、自動機で必要となる転送・保護・輸送デバイスのポリマー材料を使用して、インテリジェントな転送製品ラインを開発しています。製品には、さまざまなタイプの自動高周波インテリジェントウエーハキャリア、自動フォトマスクボックス、スマート材料ラック、インテリジェントパレットボックス、ガス充填設備、AGV（無人搬送車）及び自動化機器等があり、カスタマイズが可能です。製造、倉庫、物流における一連の流れの自動化によりストレージ作業のスピードを向上し、機器の相互接続、データ共有、リモート監視、ビッグデータ分析を可能にすることで、お客様のインダストリー4.0スマートファクトリーへの移行を支援します。これにより、国内のオプトエレクトロニクス・半導体工場の国際競争力がさらに強化されます。
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