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研磨液撹拌供給システム
業界別: 生産力・エネルギー
製品番号: iTrident 系列
亜泰半導体設備股份有限公司（ATII）
亜泰（Asia IC Mic-Process, Inc.）の研磨液撹拌供給システムは、充填モジュール、撹拌ユニット、供給・制御ユニットを含む完全自動運転の3ドラムシステムです。半導体の化学的機械研磨に使用される研磨液の混合・均質化、製造ラインへの供給用に設計されています。
他社の3ドラム式では、一つのドラムが一種類の機能しか持たず、故障が発生した場合は機械を止めるしかありません。しかし、亜泰は独自の配管制御と圧力安定化技術により、3つのドラムすべてが研磨液の撹拌、一時保管、供給に使用することができ、3つのドラムを柔軟に配置することができ、1つがメンテナンスで停止しても、生産ラインを止める必要がありません。
研磨液は流体ラインとコントロールバルブを介して底部が円錐状のドラムに注入され、ドラム底部で噴流撹拌によって均質化され、沈殿を防ぎ、残液を減らせます。本システムは様々な品質最適化ソリューションを搭載しており、たとえば空気と接触する研磨剤の乾燥や硬化を防ぐ湿式窒素装置、研磨剤を補正する品質分析モジュール、ドラム内の液体の温度を個別に制御する熱交換モジュール、ポンプとともに使用し、研磨剤供給の流量と圧力を安定させる付き圧力安定化モジュールなどがあります。
本製品の主な目的は、限られた工場構成の中でより良いマテハンのフロア効率を実現し、省スペース化、機械部品の稼働頻度を下げることによる機器の長寿命化を図り、全体的なコスト削減を実現することにあります。人間工学に基づいたメンテナンス、省スペース、ミニマリズムに基づいたデザインで、最適化された安全性と正確な撹拌を実現し、研磨液の品質を確保します。
