请用 Wechat 扫描台湾精品QRcode 或 搜寻ID: TaiwanExcellence
トップページ / 台湾エクセレンス賞 / Award Winning Products / Product Details
研磨液撹拌供給システム
業界別：生産力・エネルギー
製品番号：iTrident 系列
亜泰半導体設備股份有限公司（ATII）
亜泰（Asia IC Mic-Process, Inc.）の研磨液撹拌供給システムは、充填モジュール、撹拌ユニット、供給・制御ユニットを含む完全自動運転の3ドラムシステムです。半導体の化学的機械研磨に使用される研磨液の混合・均質化、製造ラインへの供給用に設計されています。
他社の3ドラム式では、一つのドラムが一種類の機能しか持たず、故障が発生した場合は機械を止めるしかありません。しかし、亜泰は独自の配管制御と圧力安定化技術により、3つのドラムすべてが研磨液の撹拌、一時保管、供給に使用することができ、3つのドラムを柔軟に配置することができ、1つがメンテナンスで停止しても、生産ラインを止める必要がありません。
研磨液は流体ラインとコントロールバルブを介して底部が円錐状のドラムに注入され、ドラム底部で噴流撹拌によって均質化され、沈殿を防ぎ、残液を減らせます。本システムは様々な品質最適化ソリューションを搭載しており、たとえば空気と接触する研磨剤の乾燥や硬化を防ぐ湿式窒素装置、研磨剤を補正する品質分析モジュール、ドラム内の液体の温度を個別に制御する熱交換モジュール、ポンプとともに使用し、研磨剤供給の流量と圧力を安定させる付き圧力安定化モジュールなどがあります。
本製品の主な目的は、限られた工場構成の中でより良いマテハンのフロア効率を実現し、省スペース化、機械部品の稼働頻度を下げることによる機器の長寿命化を図り、全体的なコスト削減を実現することにあります。人間工学に基づいたメンテナンス、省スペース、ミニマリズムに基づいたデザインで、最適化された安全性と正確な撹拌を実現し、研磨液の品質を確保します。
亜泰半導体設備股份有限公司（ATII） について
亜泰（ASIAICMP）は、スラリー集中・個別供給装置（SDS）、薬液供給装置(CDS)、システムエンジニアリング、プロセス品質管理システム、供給システムの最適化方策、キーコンポーネントのカスタマイズ等、総合的な研削液供給システムを提供し、先端半導体プロセスの進歩を支えています。 台湾に本社とR&D・製造拠点を置き、中国では翔泰機電（上海）と鉌泰電機設備（厦門）を通じてお客様に効率の高い専門的なサービスをお届けします。顧客満足を追求し、品質向上を目標に掲げ、顧客の成長に寄り添うことを誇りとします。半導体産業、光電子産業（パネル/ソーラー/LED）、医療製造業、食品産業、鉄鋼業、石油化学工業、化学産業等に向けて、総合的な液体輸送ソリューションをご提供可能です。
亞泰半導體設備（Asia IC Mic-Process, Inc.）は1997年に台湾工業技術研究院インキュベーションセンターの化学機械研磨・レベリングCMP装置研究チームとして設立されました。このチームが亞泰半導體設備の前身であり、半導体CMP製造プロセスの知見を蓄積し、研削液供給システム（Slurry Dispense System Total solution）プロセス技術やシステムインテグレーションの強みを活かし、お客様に最も適したサービスを提供しています。「お客様の声に耳を傾け、理解し、ニーズを満たす」これがお客様に対する姿勢であり、社員を家族のように大切にする私達の約束です。
お問い合わせ資料