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マルチディメンショナルステージ
業界別: 生産力・エネルギー
製品番号: MD-ZT
大銀微系統股份有限公司(HIWIN MIKROSYSTEM)

"大銀微系統(HIWIN MIKROSYSTEM)が開発したマルチディメンショナルステージMD-ZTは、Z、Rx、Ry、Rz、Lift-Zの5軸の自由度を高さ90mmのコンパクトな構造で実現。従来のZ+T軸構造をXYステージに搭載する際に生じるXY負荷重量の軽減や、XYZTの積層による高さの問題を解決しました。MD-ZTは卓越した性能とコストパフォーマンスを発揮し、産業技術のアップグレードを推進します。ナノメートルレベルの位置決め精度(繰り返し精度≦60 nm)、極めて低いサーボジッター(位置決め安定性≦6 nm)に加え、優れた統合性と柔軟な構成を実現し、次世代検査プラットフォームの新たなベンチマークを確立しました。MD-ZTは単なる技術的ブレークスルーではなく、顧客が市場を席巻するための決定的な武器となります!以下の特徴により、市場競争力のあるソリューションを提供し、設備アップグレードのニーズを満たします:
1. ナノレベル位置決め:ハイエンド精密検査に適用可能。半導体産業の精密検査ニーズに対応します。
2. 高応答帯域幅:高速応答と精密なモーション制御を実現し、高い動的性能が要求されるアプリケーションに最適です。
3. コンパクト設計:高さを40%削減し、重心高を大幅に低減。より柔軟なモーションアジリティを提供します。
4. キーテクノロジーの統合:複合的なソフトウェア・ハードウェア技術の統合とモジュール化設計により、顧客の設備アップグレードにおける技術的制約とコストを軽減します。"









