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次世代半導體先進製程流量計
產業類別: 生產力&能源精品
產品型號: EPU/EPF
桓達科技股份有限公司
2025 Taiwan Excellence Award

為了綠能管理與碳盤查趨勢,桓達科技推動下世代半導體先進製程產業計量管理之技術發展,開發出EPU管外夾式超音波流量計。可以讓製程液體用量精準控管不造成浪費,還可用於廢水計量與循環再生水的收集應用。 考量客戶安裝傳統流量計,需要配合停線停產,並進行大幅截管、改管工程;而EPU的出現徹底解決了此痛點,讓現有設備免截管、免改管、免停線,快速無痛升級為高精度計量系統。 選用特殊感測器外殼材質與半導體等級專用線材,更可應用於各種嚴苛製程環境。超微小化產品設計,也利於客戶迅速安裝於現有複雜狹小的管道空間中,更可在10分鐘裝機時間內完成安裝設定。

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