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高精度小型史都華平台
產業類別: 生產力&能源精品
產品型號: GSS-100-S-D
高明鐵企業股份有限公司
1.自主研發設計六軸並聯式史都華平台與多種運動控制演算法之創新性系統整合。 2.申請專利之關鍵技術包含快速位姿量測、真點校準、光耦合點之演算法，確保高效率精準對位。 3.奈米級高精度、符合晶圓級封裝整合需求、工作座標不受限可靈活夾治具設計、小體積減少空間成本。 4.鎖定AI世代半導體高精度移載系統之需求，以高性價比的產品定位取得商機。 5.幫助客戶提升對位效率與降低封裝成本。 6. 48 項校正、6D 雷射驗證、15nm 解析度、3 項專利、90% 自製率。
