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露光装置用レンズ曇り防止保護ユニット

業界別：生産力・エネルギー

製品番号：TAU

奇鼎科技股份有限公司（CHYI DING）

当社が開発した「半導体露光装置用レンズ曇り防止保護ユニット」は、世界初の飛散汚染物質分子 (AMC) を除去できる精密な温度制御装置であり、露光装置の問題を根本的に解決できる唯一のもので、半導体およびオプトエレクトロニクス業界で、製造工程における歩留まりと効率を大幅に改善します。

独自の革新的な水分除去の原理が、一般のケミカルフィルタ、ゼオライトロータや蓄熱燃焼法などの高リスク、高汚染、高価格の除去方法に取って代わります。

【製品の特長】

1. 露光装置用ランプの曇りを防止し、製品の寿命を延ばします。

2. 露光装置のレンズの曇りを防止します。ケミカルフィルタを使用する場合、レンズは約6〜8か月で洗浄する必要があります。一旦装置をシャットダウンすると、生産能力に大きな影響が生じてしまいますが、当装置を使用すれば、少なくとも6年間はレンズ洗浄の必要がありません。

3. 露光装置の価格は1台あたり1億台湾ドルにもなることが多いのですが、本製品は、AMCによる露光装置の部品の腐食を防ぎ、製品の寿命を延ばすことができます。通常の蒸発器は1〜2年で錆び始め、2〜5年で損傷するため、定期的に交換する必要がありますが、本装置を使用すれば、6年後も露光機の蒸発器は錆び知らずで、新品同様の状態を保ちます。

4. 製品の歩留まりを向上させるだけでなく、所有者のメンテナンスコストを70％削減します。

【製品仕様】

清浄度制御：Class 4

温度制御精度：±0.5°C〜±0.05°C

湿度制御精度：±5％RH〜±0.5％RH

飛散汚染物質除去率：>90% in main AMC

従来のケミカルフィルタは年に4回交換する必要がありますが、本機器内のAMC除去材は、6年間交換する必要がありません。消耗品の交換率が低く、より環境にやさしいものとなっています。

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奇鼎科技股份有限公司（CHYI DING）について

奇鼎（CHYI DING）は、クリーンな空気の流れを正確にコントロールするコア技術を有します。2006年以来現在に至るまで、高精密プロセス環境制御、化学汚染物質モニタリング、省エネサービス、クリーンルームのシステムエンジニアリング、クリーン医療ソリューション等、コア技術による新たな価値の創造を継続してきました。当社は、ハイテク製造業における歩留まりと製品品質の最適化を支援し、イノベーションを成し遂げてきたパイオニアたちを追い越し、気流技術で世界トップクラスの企業となることを目指しています。奇鼎は、品質管理と環境保護をしっかりと実施するべく、ISO 9000、ISO 14001、およびOHSAS 18001認証を取得しています。私たちは、実直かつ誠実な姿勢で革新的なサービスを提供します。そしてグローバル市場を見据え、卓越したブランドを築き上げます。より良い技術のために、完璧な環境を創造する―それがプロセスと経営に対する奇鼎の信念であり、全社を挙げて常に追求し続けている目標でもあります。

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