トップページ / 台湾エクセレンス賞 / Award Winning Products / Product Details

プロセス有機ガス処理装置
業界別:生産力・エネルギー
製品番号:TAU-EU
奇鼎科技股份有限公司(CHYI DING)
award 3

半導体およびパネルのフォトリソグラフィ工程装置の中で、コーティング、VCD乾燥、ソフトベーキングおよびハードベーキング装置は最も高濃度のVOCsを発生しますが、本製品は、従来の凝縮、吸着、洗浄VOCs処理技術に代わって、フォトリソグラフィ工程のVOCs排出を除去することができます。長期的で低汚染のVOCs除去方法を実現し、VOCsの環境への影響を低減し、それによってプロセスの歩留まりを効果的に向上させることができます。
1. 除去効率>80-90%:
お客様の実測によると、この装置で処理した後のVOCs除去効率は80~90%以上です。
2.精密な温湿度制御、温度±0.5℃、湿度±2%RH:
顧客の要求に応じて、対応する温度、湿度、清浄度を設計、計画することができます。
3.1台あたり年間202トンの二酸化炭素排出量を削減:
廃熱回収と水の再利用により、年間45トンの二酸化炭素排出量を削減できます。運転コストはローターより37.3%安く、これは年間157トンの二酸化炭素排出量削減に相当し、合計で年間202トンの二酸化炭素排出量削減になります。さらに、年間76kgのVOCs排出を削減し、大気汚染を軽減します。
4.WCF水触媒:
水触媒を使用してVOCsを変換し、次にイオン吸着プレートを使用してイオン性VOCsを吸着し、水による長期的なVOCs除去方法を実現します。
5.水洗浄およびろ過装置:
液体と気体の平行対流の衝突によって、水の消費と有機性物質(VOCs)の再放出を減らし、空気清浄効果の効率を高めます。

http://www.chd-tech.com.tw/tw/

製品お問い合わせ

奇鼎科技股份有限公司(CHYI DING) について

奇鼎(CHYI DING)は、クリーンな空気の流れを正確にコントロールするコア技術を有します。2006年以来現在に至るまで、高精密プロセス環境制御、化学汚染物質モニタリング、省エネサービス、クリーンルームのシステムエンジニアリング、クリーン医療ソリューション等、コア技術による新たな価値の創造を継続してきました。当社は、ハイテク製造業における歩留まりと製品品質の最適化を支援し、イノベーションを成し遂げてきたパイオニアたちを追い越し、気流技術で世界トップクラスの企業となることを目指しています。 奇鼎は、品質管理と環境保護をしっかりと実施するべく、ISO 9000、ISO 14001、およびOHSAS 18001認証を取得しています。 私たちは、実直かつ誠実な姿勢で革新的なサービスを提供します。そしてグローバル市場を見据え、卓越したブランドを築き上げます。より良い技術のために、完璧な環境を創造する―それがプロセスと経営に対する奇鼎の信念であり、全社を挙げて常に追求し続けている目標でもあります。

お問い合わせ資料