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面板濕蝕刻製程利用化學藥液噴淋在基板上，化學藥液與基板上的金屬進行反應，形成基板上定義的圖形。濕式蝕刻機為設計符合製程條件的環境設備。
本參選產品『濕式蝕刻機』為對應G6世代以上的大尺寸金屬濕式蝕刻設備，運用於Cu蝕刻、AL蝕刻、ITO蝕刻、IGZO蝕刻製程，採用Conveyor滾輪傳送，搭配藥液噴淋系統，滿足客戶產品製程能力。本產品具有：高稼動率(Up time)、高產出率(Tact Time)、蝕刻均一性佳(Etch Uniformity)、藥液用量低、用水量低的特點，可提供客戶節能減碳的目標。
產品特色與創新技術
(1) 低基板破片率：
1.無上壓輪基板傳送系統。
2.輔助支撐邊導輪設計
3.高直準度乾燥風刀組設計。
(2) 高設備稼動率：
1.自動防結晶清洗功能
2.自動Tank藥液交換功能
3.雙濾心自動交換功能
4.一鍵殺菌清洗功能
5.設備故障預警監控系統。(IDMS系統)
(3) 節能設計：
1.降低藥液基板攜出量設計
2.降低純水洗淨用水量設計
3.Auto damper降低排氣損耗設計

http://www.gpmcorp.com.tw

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