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2D/3D晶圓量測系統
產業類別: 健康&精密儀器精品
產品型號: 7980
致茂電子股份有限公司

7980 晶圓量測系統主要透過白光干涉量測(WLI)模組進行測量,能實現奈米級非破壞性且快速的表面輪廓測量與分析。此三維光學計量技術提供精準且可靠的輪廓資訊,專為先進封裝應用設計,是目前3D檢測領域中精度最高的測量方式之一。根據2024年congruence market insight數據,WLI技術因其高解析度及高精密度,在3D量測上佔有超過45%市占率。
7980 模組憑藉領先技術,特別適用於半導體封裝中2D/3D關鍵尺寸(critical dimension)及 Probe mark 等量測,能提供精確測量結果,並具備自我監控機制(QCM),有效確保量測過程的穩定性與可靠性。這些特性使7980模組在市場中成功區隔現有競爭對手,成為先進封裝及高精度量測需求的理想解決方案。隨著半導體製程技術持續進步,7980系統不僅滿足當前技術需求,亦具備應對未來更高精度量測挑戰的能力。











