首頁 / 台灣精品獎 / 得獎精品 / 產品詳細資料

大銀微系統開發多維度定位平台MD-ZT ，將 Z、Rx、Ry、Rz 及 Lift-Z 五軸自由度實現於90 mm高的緊湊結構中，成功解決傳統Z+T軸架構搭配至 XY 平台上，卻又苦無減輕XY負載重量及XYZT層層堆疊而產生高度過高的問題。MD-ZT展現極致性能與成本價值優勢，成功推動產業技術升級，從奈米定位（重複精度≦60 nm）、極低抖動（到位穩定性≦6 nm），到完美整合與配置靈活，為新一代檢測平台奠定嶄新標竿。MD-ZT，它不只是一項技術突破，更是客戶搶占市場的關鍵武器 ! 透過幾項特點，提供具備市場競爭力之方案，滿足設備提升需求 :
1.奈米級定位 : 適用高階精密檢測，滿足半導體產業對精密檢測的需求。
2.高響應頻寬 : 能夠快速反應並精準控制位移，適用於高動態性能要求的應用場景。
3.結構緊湊 : 節省40%高度空間大幅降低重心高度，提供更靈活的運動敏捷性。
4.整合關鍵技術 : 透過複合式軟硬體技術的整合，以模組化設計，降低了客戶設備升級的技術限制與成本壓力。

http://www.hiwinmikro.tw

產品洽詢