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自動探針台系統
產業類別: 健康&精密儀器精品
產品型號: TS2000-SE
旺矽科技股份有限公司
2018 Taiwan Excellence Award

MPI TS2000-SE 適用於多種晶圓量測應用領域,為工程用點測市場中第一台針對簡化量測複雜性而設計的 200 mm 自動探針台;旨在彌平芯片研發人員的儀器/機件整合困難、增進量測效率並減少操作不當的機率與出錯成本,以回歸、專注於芯片研發的本質。當中的創新包括:STM 安全測試管理系統能有效防止並因應測試環境計畫外之改變,例如禁止測試中機台外罩/門被開啟之機制、智慧 Dew Point 監控以防止低溫測試時的水氣凝結、以及自動偵測壓縮乾燥空氣/氮氣流,在氣流中斷/不足時自動將晶圓吸盤調節至 60℃ 安全模式,皆能保護操作者、量測結果、點測器具(如探針)、和待測物之安全免於受損。搭配全自動單晶片上片系統,由於不需先對測試環境進行升溫或冷卻,方便用戶在任何測試溫度下進行上/下片動作,大幅減少等待時間、提升量測效率;機台的硬體整合控制面板、高低溫晶圓吸盤控制整合則提供操作者單站集合式、直覺式的操作,用戶無須再受制於有限的空間限制、得在設備間穿梭才能設定測試設備。此外,業界首創的多點觸控探針台控制軟體 SENTIO®,則提供了直覺且簡化的量測操作介面與流程機制,能預先設定並保護量測流程,預防性地屏除了量測失敗的人因風險與出錯成本。

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