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自動勻膠機
產業類別:生產力&能源精品
產品型號:ATOM 6500C
聚昌科技股份有限公司
award 3

聚昌科技自動光阻勻膠機ATOM 6500C,可適用於4/6吋標準晶圓光阻勻膠製程。設備主要由盒站、對準、傳送、勻膠、熱處理、化學品供應、排液系統及控制模組組成,藉由圖形化操作介面,來進行自動光阻勻膠製程。本產品也可經由客製化CIM系統進行遠端自動化生產管理。相較於傳統機型,本產品具有多項獨特設計與創新,提供給客戶更多生產價值,產品主要特色有:

1.配置“光阻節量勻膠技術”,單次膠用量最低可達0.65cc,對比傳統勻膠技術,節省光阻液用量多達50%。

2.採用全自製晶圓傳送機械手臂,比傳統市購機械手臂更快、更便宜、更容易維修,同時更方便依照客戶需求進行性能優化。

3.在標準生產模式下,產能比競爭機型提升約30%。

4.傳送手臂配備有獨特的第三牙叉,專供傳送晶圓進入勻膠模組使用,可以避免牙叉積熱影響晶圓溫度,提升膜厚勻膠均勻性。

5.比傳統產品多一個下貨盒站,可以有效提升作業員效率,並降低生產斷料風險。

6.使用自行開發軟體,可以配合需求快速提供客製化功能。

http://www.ast-taiwan.com.tw

產品洽詢

關於 聚昌科技股份有限公司

聚昌科技創立於2002年,以「高精密電子槍蒸鍍設備、高密度電漿反應式離子蝕刻設備、光阻勻膠與顯影設備」為核心技術,目前專注經營LED相關及功率半導體元件客戶以及進行半導體前段設備開發。
聚昌科技以建構自我品牌的策略,結合國內、外真空半導體設備、自動化、製程應用等各領域精英團隊,並與工研院、交大、清大建立策略聯盟,增強研發能量深度與廣度。與「漢民科技」合作超過10年以上,服務據點分佈台灣、新加坡、馬來西亞與中國大陸,除了積極開發新設備與新應用外,不斷強化服務,提供客戶一流的設備與服務,全面提升產業價值。

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聚昌科技以建構自我品牌的策略, 提供客戶高品質的LED/半導體生產設備與值得信賴完善的售後服務,全面提升產業價值。以解決客戶製程設備技術為導向,追求降低客戶成本,且嚴格要求品質管控,堅信客戶第一的服務信念。另外,因半導體製程設備是極為複雜、精密的機器,為因應製程技術的演進,國外的設備商常不易配合客戶進行設備的修改,而且維修時間長、價格昂貴,嚴重影響生產效率與成本,聚昌科技堅信客戶第一的服務信念,充分發揮國內設備廠的地緣優勢,就近提供更為完善的售後服務與迅速便捷的維修服務,確保了客戶製程設備的運轉使用率。除了能提供客戶最優越的製程與設備整合服務外,更擁有極具前瞻性與競爭力的經營理念 1.客戶優先的服務精神 2.堅持一貫的專業品質策略 3.持續產品的整合改善與創新 4.追求誠信重諾的高顧客滿意 經營理念 1.顧客滿意:尋求長遠的合作夥伴關係,秉誠信原則,一旦承諾,必然全力履行 2.技術服務:完善的售後服務方案,以客戶優先之精神,提供完善及準時的技術支援 3.專業品質:堅持一貫品質策略,提供客戶優良產品,提升客戶競爭力為目標 4.產品創新:持續製程與設備之整合改善,注重創新,並積極、專注於新技術研究

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