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晶圓研磨機(TWG 系列)
產業類別: 生產力&能源精品
產品型號: TWG-2H0612
東台精機股份有限公司

本公司自主研發的多站式晶圓研磨機,專為滿足先進半導體封裝與晶圓減薄中對厚度均勻性(TTV)與翹曲(Warp)嚴苛控制的需求而設計。透過自製氣/液靜壓主軸與轉台模組,搭配專利台面傾角調整與終點厚度檢測系統,實現高精度、高均勻度的研磨效果,確保晶圓成品厚度與形狀的最佳一致性,助力晶圓廠達成良率最大化。
機台配備自主開發的人機介面與控制軟體,不僅支持製程參數監控與數據記錄,還能整合設備聯網(MES),提升生產透明度與管理效率,符合現代智慧製造趨勢。
在永續發展面向,設備採用智能切削水控制系統,能依加工負載與刀具狀態自動調節用水量,精準節水減少耗用,降低製程環境負擔,契合半導體產業對綠色製程與節能減碳的高標準要求。
此外,耗材採開放式設計,不綁定特定品牌,降低長期運營成本,同時促進在地供應鏈整合,提升客戶競爭優勢與彈性。
綜合卓越的製程控制能力與環保節能設計,本機為半導體晶圓研磨領域具備創新技術與永續價值的優質選擇。











