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微檢測系統
產業類別：健康&精密儀器精品
產品型號：MARS
台灣電鏡儀器股份有限公司
temic新推出的微檢測系統-MARS (Micro Inspection System - MARS，簡稱MIS MARS)，是MIS系列中的客製化大物件檢測設備，專為高價值且不容許破壞的較大零組件(Parts)，所開發之自動化缺陷檢測與異常成份分析解決方案。依據客戶需求提供腔體與載台的專業客製，創新設計減除樣品導電性的限制，並可搭載高精密定位載台與多重感測自動分析系統，以專利技術實現物件表面360度連續檢測，也是唯一提供客製分析軟體的智能電子束檢測設備。
MIS MARS的特點包含可客製腔體載台（擴大樣品容許尺寸與特殊形貌角度檢查）、精準座標定位、高度自動化流程、與先進缺陷分析演算引擎，且可訂製通訊協定串連用戶雲端SPC或COA系統，是協助客戶改善產品與製程的高效率檢測系統。
MIS MARS已被台灣指標半導體大廠連續採用，漸成為10奈米以下先進半導體製程零組件缺陷品管與控制的重要解決方案，補足半導體廠原物料監測的最後一個環節。temic將以MIS MARS作為擴大國際市場，進攻半導體以及航太等高端產業的重要產品。
關於 台灣電鏡儀器股份有限公司
台灣電鏡儀器(TEMIC)，是台灣第一家以桌上型電子顯微鏡為產品主體的研發製造公司，產品完全在台灣製造。2017起進駐新竹科學園區，為產學研各界提供多功能易使用的客製型電子顯微鏡產品以及創新的液體樣品奈米檢測方案。
以提供市場簡單易用體積小巧的電子束檢測儀器為核心，向上發展高階多樣化功能給予科研單位，向下降低學習門檻給予製造產業作為取代高階光學顯微鏡的升級性產品。2018起轉型工業市場，提供先進半導體製程控制所需的零組件為檢測設備，以及鋰電池產業發展所需的液態/水氧敏感材料的分析工具。
台灣電鏡儀器(TEMIC)的產品發展核心理念，在於「將科學精密儀器，帶入非專業使用者(Non-professional User)的應用領域」。如同個人電腦(Personal Computer)的興起結束了大型工作站電腦(Mainframe Computer)的時代，從此電腦走入了辦公室與家庭，引發顛覆想像的巨大應用變革；電子顯微鏡也正在經歷這樣的革命，過去專業冷酷形象的科學儀器也可以很好懂、很親切、很低負擔。
前身為國立清華大學的電子顯微鏡研究團隊，自2008年起歷經漫長的原型發展，終於取得產品化的契機，在工研院的支持下以公司的形式正式成立於2013年7月，並獲得科技部創新創業激勵計畫(FITI)競賽優勝、科技部「奈米科技傑出新創公司獎」與新竹管理局「竹科之星」獎項，2015/2019年獲得生策會國家新創獎-企業新創獎的肯定。
清華大學團隊的核心技術，透過台灣電鏡儀器實現商品化，並在工研院挹注下進行價值創造，要共同完成跨領域的整合創新，持續以台灣自製精密儀器的信念向前邁進。秉持著國造尖端儀器的MIT精神，將在核心規格與創新功能上不斷努力研發，並以液態檢測電鏡領航專家自詡，訂定目標要為全球產業提供40 nm以下液體粒子檢出的優勢技術。
