首頁 / 台灣精品獎 / 得獎精品 / 產品詳細資訊

晶圓移載模組

產業類別：生產力&能源精品

產品型號：EFEM320系列

上銀科技股份有限公司

HIWIN晶圓移載模組Equipment Front End Module (EFEM)
1.MIT核心技術，自製關鍵零組件：EFEM系統化整合，包含滾珠螺桿、線性滑軌、諧波減速機、單軸機器人、晶圓機器人、伺服馬達、直驅馬達與驅動器等。
2.滿足市場多元需求與智慧製造趨勢：EFEM適用於半導體與光學檢測設備、太陽能及LED產業等，具高速化、高定位精度及高可靠性等優勢，模組化的類型、尺寸。
3.模組化架構，提供彈性客製：傾聽顧客的使用需求研發，提供彈性選擇1~8個晶圓載入/出埠，有別於業界常見2個。可依客戶各種產線配置，提供最佳模組與最快交期的解決方案。
4.半導體產業的成本節能方案：EFEM可提供20%~40%的成本節能。對應半導體設備交易時的兩個重要指標，每單位晶圓成本以及總體擁有成本。
5.精度誤差小於一根頭髮十分之一：EFEM經不同的感測器，偵測晶圓卡匣擺放，取放時精度可達微米等級。
6.國際安規品質認証：支援SECS/GEN 通訊，通過國際半導體設備SEMI S2安全認證，潔淨度達 Class 1，料件符合ROHS規範。異況時啟動保護機制，防治設備受損，確保人員安全。

http://www.hiwin.tw

產品洽詢

關於上銀科技股份有限公司

上銀科技以HIWIN自有品牌行銷全球，為傳動控制與系統科技的領導品牌，專注於高速、高精密、環保節能特性之關鍵零組件的研發與製造；產品包括：滾珠螺桿、線性滑軌、精密軸承、諧波減速機、工業機器人、醫療機器人、迴轉工作台等，廣泛應用於智動化、精密工具機、生技醫療、光電半導體、環保節能與交通運輸等產業。HIWIN秉持製造服務業的理念，以精密零組件的核心技術，結合集團機電整合能量研究創新，生產高效率、高精度、智能化產品，為人類更佳工作環境與福祉努力不懈，以「專業水準、工作熱誠、職業道德」之實踐，實現企業永續經營職志。

http://www.hiwin.tw

上銀科技1989年創立，即以自有品牌及研發創新為企業永續發展的主軸，堅持以自有品牌HIWIN行銷全球。 HIWIN源自HI-TECH WINNER縮寫，意即With us, you areａhi-tech winner, 自我期許為高科技贏家，攜手客戶創新價值、增強競爭力，成為市場領域的贏家。 CIS色系-綠色、紅色綠色如地表萬物和諧、欣欣向榮，代表自然、環保、永續與成長。HIWIN製造的產品可取代油壓、氣壓，減少污染、噪音，提高效率與精密度，創造更舒適的生活環境。紅色如地心的熾熱，代表熱誠、積極與強烈的創新精神。 HIWIN在征戰全球市場時格外艱辛，起因精密設備的關鍵零組件，一向為德國、日本等工業大國所主導。機械業者慣用日製產品，直至HIWIN先在歐美打響名號，才取得國內廠商認同。就如創辦人卓永財總裁經營心得：『台中到竹科最近的距離是經過美國矽谷』。 HIWIN精耕30餘年，深刻體會「研發創新是自有品牌的隱形翅膀、智財權是永續經營的基石」，品牌經營除了設計、製造、品質、行銷外，更要有研發創新的驅動與智慧財產的支柱。如今HIWIN是全球傳動控制與系統科技第二大品牌，全球有14個子公司、孫公司、R&D中心、實驗室及超過300個經銷體系。HIWIN秉持製造服務業精神持續創新，2017年上銀科技被Nikkei日經新聞評選為「ASIA300市價增加率排行榜」第一名；市值總額倍增，為亞洲上市公司的翹楚，為台灣爭光。

聯絡資料

公司電話：04-23594510

公司傳真：04-23594420

公司電話：02-27815301#3108

公司傳真：02-27815108

Email：lillian@hiwin.tw

公司電話：02-27815301#3111

公司傳真：02-27815108

Email：fairy@hiwin.tw

公司電話：04-23594510#23594510

公司傳真：04-23594420

Email：tony2@mail.hiwin.com.tw