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小型製程精密溫溼度控制機組為一款針對半導體晶圓6吋和8吋廠的Track機台打造的極精密溫控設備，溫度最精準可控制在23±0.01°C，濕度最精準可控制在50±0.5%RH，提升產線稼動率，降低生產時所發生之良率異常。
因應半導體閘極限寬的持續縮小，以及化合物半導體的戰略重要性大幅提升，本產品可以滿足客戶對於精密環境的嚴苛需求，協助提升產品良率。
相較於同業，本產品使用R407C環保冷媒，完全不含破壞臭氧層成分，符合美國採暖、製冷空調工程師協會的A1安全等級類別；並且使用熱回收系統，運轉電流比電加熱系統減少一半的安培數。

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