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製程有機氣體處理設備
產業類別: 生產力&能源精品
產品型號: TAU-EU
奇鼎科技股份有限公司
半導體與面板黃光段製程設備中，以塗佈、VCD乾燥、軟烤與硬烤設備所產生的VOCs濃度最高，本產品能替代傳統冷凝法、吸附法、洗滌法等VOCs處理技術，去除黃光製程中的VOCs廢氣，達到長效、低汙染的VOCs去除方式，降低VOCs對環境造成的影響，進而有效提升製程良率。
1. 去除效率>80-90%：
經客戶端實測， VOCs經本設備處理後，有大於80-90%的去除能效。
2. 精密溫溼度控制，溫度±0.5°C、濕度±2%RH：
可依照客戶需求，設計規劃對應的溫度、濕度和潔淨度。
3. 單台一年減少202公噸碳排放量：
每年廢熱回收、水回收可減少45公噸碳排放量；運轉成本相較Rotor減少37.3%，相當於每年減少157公噸碳排放量，總計一年減少202公噸碳排放量。另外每年減少76公斤VOCs排放量，減少空氣汙染。
4. WCF水觸媒：
採用水觸媒轉化VOCs，再用離子吸附板吸附離子態的VOCs，達到以水去除VOCs的長效方式。
5. 水洗過濾裝置：
藉由液體跟氣體平行式對流的碰撞，達到降低用水量，以及減少有機物(VOCs)自水中再次逸散(Outgassing)，提升空氣之清洗效率的效果。
