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晶圓視覺對位網印機
產業類別: 生產力&能源精品
產品型號: ATMA-SW12
東遠精技工業股份有限公司

將網印設備引進半導體製程:創新節能製程 客製晶圓封裝製程專用機型,滿足特種化學漿料/錫膏印刷工藝,取代半導體旋轉塗佈+光罩製程。在晶圓上做裸晶溝槽填覆或進行裸晶面保護漿料印刷,降低光罩光刻機及後道濕製程純水清洗等使用率,節約水電資源、特種化學漿料使用量,減低排廢對環境污染。 1)行銷對象 先進晶圓封裝廠:如日月光、晶方、華天、揚傑、常電集團..等。 低階晶圓二極體廠:如敦南、華鑫、弘揚半導體..等。 2)視覺精準對位:對位精度±5um 視覺即時對位系統取代人工對版,對位系統搭配對位檯,學習網版位置,將晶圓快速對位。 3)膜厚均勻性佳:印刷膜厚精度1~2um 刮刀水平自動校準,印刷膜厚穩定,可達微米級精度,確保客戶生產良率。 4)視覺快速對版:對版時間≦2min 更換網版時,人員可藉由螢幕顯示輔助,將網版上靶點移置FOV中心,快速做網版定位。 5)一機兩用:特種保護膠/錫膏製程 可對應鋼版及特多龍網版印刷,配附版下清潔(乾濕擦、真空擦)、鋼刮刀、數位抬版等功能。 6)抽拉式網框:重視人員操作安全及便利性 業界首創模式,當網版清潔時,將網版拉出機台,易於操作、節省時間既舒適又安全




















